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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第816位 33件
(
2022年:第994位 26件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第833位 28件
(
2022年:第1535位 13件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7394918 | ブランクマスク及びそれを用いたフォトマスク | 2023年12月 8日 | |
| 特許 7393574 | 極紫外線用フォトマスク | 2023年12月 6日 | |
| 特許 7383072 | ブランクマスク及びそれを用いたフォトマスク | 2023年11月17日 | |
| 特許 7383071 | 研磨パッド、研磨パッドの製造方法およびこれを用いた半導体素子の製造方法 | 2023年11月17日 | |
| 特許 7373026 | 半導体工程用研磨組成物及びそれを用いた研磨された物品の製造方法 | 2023年11月 1日 | |
| 特許 7351978 | ブランクマスク及びそれを用いたフォトマスク | 2023年 9月27日 | |
| 特許 7348352 | 研磨パッド、その製造方法およびこれを用いた半導体素子の製造方法 | 2023年 9月20日 | |
| 特許 7346615 | 半導体工程用組成物及びそれを用いた半導体素子の製造方法 | 2023年 9月19日 | |
| 特許 7344628 | フォトマスクブランク、フォトマスク及び半導体素子の製造方法 | 2023年 9月14日 | |
| 特許 7340057 | フォトマスクブランク及びそれを用いたフォトマスク | 2023年 9月 6日 | |
| 特許 7337245 | ブランクマスク、ブランクマスク成膜装置及びブランクマスクの製造方法 | 2023年 9月 1日 | |
| 特許 7333845 | 研磨パッド、研磨パッドの製造方法およびこれを用いた半導体素子の製造方法 | 2023年 8月25日 | |
| 特許 7329033 | ブランクマスク及びそれを用いたフォトマスク | 2023年 8月17日 | |
| 特許 7329035 | 半導体工程用研磨組成物及び研磨組成物を適用した基板の研磨方法 | 2023年 8月17日 | |
| 特許 7329031 | ブランクマスク及びそれを用いたフォトマスク | 2023年 8月17日 |
28 件中 1-15 件を表示
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7394918 7393574 7383072 7383071 7373026 7351978 7348352 7346615 7344628 7340057 7337245 7333845 7329033 7329035 7329031
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