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エスケーシー ソルミックス カンパニー,リミテッド

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7394918 ブランクマスク及びそれを用いたフォトマスク 2023年12月 8日
特許 7393574 極紫外線用フォトマスク 2023年12月 6日
特許 7383072 ブランクマスク及びそれを用いたフォトマスク 2023年11月17日
特許 7383071 研磨パッド、研磨パッドの製造方法およびこれを用いた半導体素子の製造方法 2023年11月17日
特許 7373026 半導体工程用研磨組成物及びそれを用いた研磨された物品の製造方法 2023年11月 1日
特許 7351978 ブランクマスク及びそれを用いたフォトマスク 2023年 9月27日
特許 7348352 研磨パッド、その製造方法およびこれを用いた半導体素子の製造方法 2023年 9月20日
特許 7346615 半導体工程用組成物及びそれを用いた半導体素子の製造方法 2023年 9月19日
特許 7344628 フォトマスクブランク、フォトマスク及び半導体素子の製造方法 2023年 9月14日
特許 7340057 フォトマスクブランク及びそれを用いたフォトマスク 2023年 9月 6日
特許 7337245 ブランクマスク、ブランクマスク成膜装置及びブランクマスクの製造方法 2023年 9月 1日
特許 7333845 研磨パッド、研磨パッドの製造方法およびこれを用いた半導体素子の製造方法 2023年 8月25日
特許 7329033 ブランクマスク及びそれを用いたフォトマスク 2023年 8月17日
特許 7329035 半導体工程用研磨組成物及び研磨組成物を適用した基板の研磨方法 2023年 8月17日
特許 7329031 ブランクマスク及びそれを用いたフォトマスク 2023年 8月17日

28 件中 1-15 件を表示

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7394918 7393574 7383072 7383071 7373026 7351978 7348352 7346615 7344628 7340057 7337245 7333845 7329033 7329035 7329031

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