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サムス カンパニー リミテッド

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  2023年 出願公開件数ランキング    第725位 39件 上昇2022年:第1330位 18件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第939位 24件 上昇2022年:第6243位 2件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7290687 静電チャック及びその製造方法と基板処理装置 2023年 6月13日
特許 7288497 基板把持装置とこれを含む液処理装置、及び基板処理設備 2023年 6月 7日
特許 7274554 処理液供給装置及び処理液供給装置の固形除去方法 2023年 5月16日
特許 7263292 基板処理装置及び基板処理方法 2023年 4月24日
特許 7252300 ヒーター組立体及びこれを含むボンディングヘッド 2023年 4月 4日
特許 7244171 基板処理装置 2023年 3月22日
特許 7211679 流体排出装置、これを含む基板処理システム、及び流体排出方法 2023年 1月24日
特許 7209767 静電チャック、及び基板処理装置 2023年 1月20日
特許 7202426 処理液供給ユニットを含む基板処理装置、及び基板処理方法 2023年 1月11日

24 件中 16-24 件を表示

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7290687 7288497 7274554 7263292 7252300 7244171 7211679 7209767 7202426

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