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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第3095位 6件
(2023年:第35905位 0件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第2757位 6件
(2023年:第4609位 3件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7586236 | 極端紫外線リソグラフィ用ペリクル | 2024年11月19日 | |
特許 7574375 | 吸収膜を備えた極端紫外線リソグラフィー用ブランクマスク及びこれを用いて製造されたフォトマスク | 2024年10月28日 | |
特許 7507943 | 極端紫外線リソグラフィー用位相反転ブランクマスク及びフォトマスク | 2024年 6月28日 | |
特許 7475106 | 極紫外線リソグラフィ用位相反転ブランクマスク及びフォトマスク | 2024年 4月26日 | |
特許 7448614 | 極紫外線リソグラフィ用位相反転ブランクマスク及びフォトマスク | 2024年 3月12日 | |
特許 7446400 | フラットパネルディスプレイ用ブランクマスク及びフォトマスク | 2024年 3月 8日 |
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7586236 7574375 7507943 7475106 7448614 7446400
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