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株式会社トッパンフォトマスク

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  2022年 特許取得件数ランキング    第3150位 5件 上昇2021年: 0件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7184558 位相シフトマスクブランク、位相シフトマスク及び位相シフトマスクの製造方法 2022年12月 6日
特許 7178277 インプリントモールド製造方法 2022年11月25日
特許 7169970 反射型フォトマスクブランク及び反射型フォトマスク 2022年11月11日
特許 7129204 パドル方式の現像装置 2022年 9月 1日
特許 7117445 反射型フォトマスクブランク及び反射型フォトマスク 2022年 8月12日

5 件中 1-5 件を表示

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7184558 7178277 7169970 7129204 7117445

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