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ブルックス オートメーション インコーポレイテッド

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  2019年 出願公開件数ランキング    第1815位 13件 下降2018年:第1619位 14件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第1108位 17件 上昇2018年:第1497位 12件)

(ランキング更新日:2025年2月20日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2019-216264 オンザフライ基板センタリングを含む処理装置 2019年12月19日
特開 2019-208073 基板処理ツール 2019年12月 5日
特開 2019-197921 基板処理装置、基板キャリア及び基板処理システム 2019年11月14日
特開 2019-192942 半導体部品処理システム 2019年10月31日
特表 2019-529938 試料管および方法 2019年10月17日
特表 2019-530225 基板処理装置 2019年10月17日
特開 2019-169740 双腕ロボット 2019年10月 3日
特表 2019-526171 基板処理装置 2019年 9月12日
特開 2019-145816 基板を搬入および搬出する方法ならびに基板搬送装置 2019年 8月29日
特開 2019-95194 極低温冷凍システムにおけるヘリウム冷媒の供給を制御する方法および極低温冷凍システム 2019年 6月20日
特開 2019-71465 基板搬送部 2019年 5月 9日
特開 2019-66179 コンパクトで効率的な冷凍と適応性のある電源管理のための、極低温熱交換器アレイを暖めるシステムおよび方法 2019年 4月25日
特開 2019-12834 半導体処理ツール 2019年 1月24日

13 件中 1-13 件を表示

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2019-216264 2019-208073 2019-197921 2019-192942 2019-529938 2019-530225 2019-169740 2019-526171 2019-145816 2019-95194 2019-71465 2019-66179 2019-12834

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