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ブルックス オートメーション インコーポレイテッド

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  2021年 出願公開件数ランキング    第1675位 14件 下降2020年:第1113位 23件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第1299位 14件 下降2020年:第1115位 17件)

(ランキング更新日:2025年5月2日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-192585 密封スイッチトリラクタンスモータ 2021年12月16日
特表 2021-530857 基板搬送装置 2021年11月11日
特開 2021-170667 オンザフライ方式の自動ウェハセンタリング方法および装置 2021年10月28日
特開 2021-158389 基板搬送装置 2021年10月 7日
特表 2021-525960 基板搬送装置 2021年 9月27日
特表 2021-519247 自動化極低温貯蔵及び回収システム 2021年 8月10日
特開 2021-106288 搬送装置および処理装置 2021年 7月26日
特開 2021-102525 自動極低温保存システム 2021年 7月15日
特表 2021-512490 自動ウェハセンタリング方法および装置 2021年 5月13日
特開 2021-44528 基板整列の方法および装置 2021年 3月18日
特開 2021-39116 密閉環境のための位置フィードバック 2021年 3月11日
特開 2021-22750 半導体処理ツール 2021年 2月18日
特開 2021-10011 基板処理装置 2021年 1月28日
特開 2021-4139 極低温冷凍器 2021年 1月14日

14 件中 1-14 件を表示

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2021-192585 2021-530857 2021-170667 2021-158389 2021-525960 2021-519247 2021-106288 2021-102525 2021-512490 2021-44528 2021-39116 2021-22750 2021-10011 2021-4139

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