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ブルックス オートメーション インコーポレイテッド

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  2019年 出願公開件数ランキング    第1815位 13件 下降2018年:第1619位 14件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第1108位 17件 上昇2018年:第1497位 12件)

(ランキング更新日:2024年9月20日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6621868 貯蔵システム 2019年12月18日
特許 6603204 同軸駆動真空ロボット 2019年11月 6日
特許 6594304 処理装置 2019年10月23日
特許 6587355 時間最適アーム動作を生成する装置 2019年10月 9日
特許 6581072 双腕ロボット 2019年 9月25日
特許 6577944 オンザフライ基板センタリングを含む処理装置 2019年 9月18日
特許 6571629 基板処理ツール 2019年 9月 4日
特許 6568921 側部開口部基板キャリアおよびロードポート 2019年 8月28日
特許 6558780 加工物の並列加工装置 2019年 8月14日
特許 6525499 同軸駆動真空ロボット 2019年 6月 5日
特許 6513400 コンパクトで効率的な冷凍と適応性のある電源管理のための、極低温熱交換器アレイを暖めるシステムおよび方法 2019年 5月15日
特許 6510423 基板搬送部 2019年 5月 8日
特許 6510589 基板を処理する方法および基板処理ツール 2019年 5月 8日
特許 6480488 基板搬送方法 2019年 3月13日
特許 6482506 側部開口部基板キャリアおよびロードポート 2019年 3月13日

17 件中 1-15 件を表示

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6621868 6603204 6594304 6587355 6581072 6577944 6571629 6568921 6558780 6525499 6513400 6510423 6510589 6480488 6482506

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