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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第1815位 13件 (2018年:第1619位 14件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第1108位 17件 (2018年:第1497位 12件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6621868 | 貯蔵システム | 2019年12月18日 | |
特許 6603204 | 同軸駆動真空ロボット | 2019年11月 6日 | |
特許 6594304 | 処理装置 | 2019年10月23日 | |
特許 6587355 | 時間最適アーム動作を生成する装置 | 2019年10月 9日 | |
特許 6581072 | 双腕ロボット | 2019年 9月25日 | |
特許 6577944 | オンザフライ基板センタリングを含む処理装置 | 2019年 9月18日 | |
特許 6571629 | 基板処理ツール | 2019年 9月 4日 | |
特許 6568921 | 側部開口部基板キャリアおよびロードポート | 2019年 8月28日 | |
特許 6558780 | 加工物の並列加工装置 | 2019年 8月14日 | |
特許 6525499 | 同軸駆動真空ロボット | 2019年 6月 5日 | |
特許 6513400 | コンパクトで効率的な冷凍と適応性のある電源管理のための、極低温熱交換器アレイを暖めるシステムおよび方法 | 2019年 5月15日 | |
特許 6510423 | 基板搬送部 | 2019年 5月 8日 | |
特許 6510589 | 基板を処理する方法および基板処理ツール | 2019年 5月 8日 | |
特許 6480488 | 基板搬送方法 | 2019年 3月13日 | |
特許 6482506 | 側部開口部基板キャリアおよびロードポート | 2019年 3月13日 |
17 件中 1-15 件を表示
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6621868 6603204 6594304 6587355 6581072 6577944 6571629 6568921 6558780 6525499 6513400 6510423 6510589 6480488 6482506
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