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ブルックス　オートメーション　インコーポレイテッド

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　■　2017年特許取得件数ランキング　　　第1304位　15件（2016年：第1172位　18件）

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ブルックス　オートメーション　インコーポレイテッドの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2017-224861	自動位置合わせ基板搬送装置	2017年12月21日
特表 2017-535957	ツールの自動教示方法および装置	2017年11月30日
特表 2017-535974	ウェハアライナ	2017年11月30日
特開 2017-205870	基板を処理する方法および基板処理ツール	2017年11月24日
特開 2017-161506	準最適保管密度の保管用消耗品を有する自動試料保管システム	2017年 9月14日
特開 2017-143270	基板搬送方法	2017年 8月17日
特表 2017-515046	クライオポンプ・ハイブリッド前面アレイ	2017年 6月 8日
特表 2017-515100	試料保管および取出しシステム	2017年 6月 8日
特表 2017-512732	試料選択装置	2017年 5月25日
特開 2017-83171	ヘリウム管理制御システム	2017年 5月18日
特開 2017-85127	基板処理ツール	2017年 5月18日
特開 2017-69583	低減容量キャリア、搬送機、積載ポート、緩衝装置システム	2017年 4月 6日
特表 2017-508984	持ち運び可能な低温ワークステーション	2017年 3月30日
特表 2017-505985	基板搬送装置	2017年 2月23日
特表 2017-505994	基板搬送装置	2017年 2月23日

21 件中 1-15 件を表示

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2017-224861 2017-535957 2017-535974 2017-205870 2017-161506 2017-143270 2017-515046 2017-515100 2017-512732 2017-83171 2017-85127 2017-69583 2017-508984 2017-505985 2017-505994

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