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ブルックス オートメーション インコーポレイテッド

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  2015年 出願公開件数ランキング    第1576位 15件 上昇2014年: 0件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第1115位 18件 上昇2014年: 0件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2015-233143 基板処理ツール 2015年12月24日
特開 2015-227775 極低温冷却のためのシステム 2015年12月17日
特表 2015-527754 半導体製造機器のためのアクセス割当てシステム及びその使用及び作動方法 2015年 9月17日
特開 2015-146447 基板用容器貯蔵システムと相互作用する一体システム 2015年 8月13日
特開 2015-128197 ポートドア位置決め装置及び関連の方法 2015年 7月 9日
特開 2015-53509 複数の独立可動アームを伴う基板搬送装置 2015年 3月19日
特表 2015-508236 基板処理装置 2015年 3月16日
特開 2015-45340 輻射シールド、極低温ユニットおよびクライオポンプ 2015年 3月12日
特開 2015-43457 基板処理装置 2015年 3月 5日
特開 2015-39012 磁気スピンドル軸受を伴うロボット駆動装置 2015年 2月26日
特開 2015-16996 読取り距離を拡張したRFIDシステム 2015年 1月29日
特表 2015-502654 半導体ウェハのハンドリングおよび搬送 2015年 1月22日
特表 2015-502667 搬送装置 2015年 1月22日
特表 2015-501520 静電イオントラップの同調方法および装置 2015年 1月15日
特開 2015-4509 リニア駆動を利用した極低温冷凍機 2015年 1月 8日

15 件中 1-15 件を表示

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2015-233143 2015-227775 2015-527754 2015-146447 2015-128197 2015-53509 2015-508236 2015-45340 2015-43457 2015-39012 2015-16996 2015-502654 2015-502667 2015-501520 2015-4509

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