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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第1793位 14件
(2016年:第5242位 3件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第2245位 7件
(2016年:第9250位 1件)
(ランキング更新日:2025年3月28日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6253778 | ハルバッハ配列及び該ハルバッハ配列を採用する磁気浮遊式ダンパー | 2017年12月27日 | |
特許 6242542 | ガントリ装置、及び、制御方法 | 2017年12月 6日 | |
特許 6236543 | リソグラフィマシンワークピーステーブル、及びその垂直位置初期化方法 | 2017年11月22日 | |
特許 6219968 | 磁気アライメントシステム及び磁気アライメント方法 | 2017年10月25日 | |
特許 6211691 | レチクル整形装置、方法及びそれに用いる露光装置 | 2017年10月11日 | |
特許 6204613 | 磁石アレイ及び磁気浮上平面モータ | 2017年 9月27日 | |
特許 6072267 | 軸外アライメントシステム及びアライメント方法 | 2017年 2月 1日 |
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6253778 6242542 6236543 6219968 6211691 6204613 6072267
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