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シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント カンパニー リミティド

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  2017年 出願公開件数ランキング    第1793位 14件 上昇2016年:第5242位 3件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第2245位 7件 上昇2016年:第9250位 1件)

(ランキング更新日:2025年2月21日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6253778 ハルバッハ配列及び該ハルバッハ配列を採用する磁気浮遊式ダンパー 2017年12月27日
特許 6242542 ガントリ装置、及び、制御方法 2017年12月 6日
特許 6236543 リソグラフィマシンワークピーステーブル、及びその垂直位置初期化方法 2017年11月22日
特許 6219968 磁気アライメントシステム及び磁気アライメント方法 2017年10月25日
特許 6211691 レチクル整形装置、方法及びそれに用いる露光装置 2017年10月11日
特許 6204613 磁石アレイ及び磁気浮上平面モータ 2017年 9月27日
特許 6072267 軸外アライメントシステム及びアライメント方法 2017年 2月 1日

7 件中 1-7 件を表示

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6253778 6242542 6236543 6219968 6211691 6204613 6072267

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