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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第957位 28件
(2019年:第664位 47件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第716位 30件
(2019年:第985位 20件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6794458 | スキャン反射性ミラー監視システム及び方法、フォーカス・レベリングシステム | 2020年12月 2日 | |
特許 6794536 | 光学式測定装置及び方法 | 2020年12月 2日 | |
特許 6794538 | 光学式測定装置及び方法 | 2020年12月 2日 | |
特許 6791969 | ボンディング装置用の加熱冷却装置の製造方法 | 2020年11月25日 | |
特許 6785361 | 基板アライメント用マシンビジョンシステム及びアライメント装置 | 2020年11月18日 | |
特許 6771088 | レベリング可能なレチクルライブラリシステム | 2020年10月21日 | |
特許 6764993 | レーザーパッケージング方法及びレーザーパッケージング装置 | 2020年10月 7日 | |
特許 6765441 | フォーカスレベリング測定装置および方法 | 2020年10月 7日 | |
特許 6765497 | 回折格子測定装置 | 2020年10月 7日 | |
特許 6753950 | カセットハンドリングロボットマニピュレータ、及び自動カセット搬送装置 | 2020年 9月 9日 | |
特許 6742453 | 光配向制御方法及び光配向装置 | 2020年 8月19日 | |
特許 6734942 | チップボンディング装置及びそのボンディング方法 | 2020年 8月 5日 | |
特許 6717908 | 基板の搬送装置、搬送方法、及びフォトリソグラフィ設備 | 2020年 7月 8日 | |
特許 6719564 | プリズム回転調節機構、及びフォトリソグラフィ装置の露光システム、及びフォトリソグラフィ装置 | 2020年 7月 8日 | |
特許 6712647 | チップボンディング装置及び方法 | 2020年 6月24日 |
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6794458 6794536 6794538 6791969 6785361 6771088 6764993 6765441 6765497 6753950 6742453 6734942 6717908 6719564 6712647
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