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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第4725位 4件
(2021年:第12881位 1件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第2778位 6件
(2021年:第701位 31件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7166329 | 走査アライメント装置およびその走査方法 | 2022年11月 7日 | |
特許 7045369 | フラットパネルの粒度検出方法 | 2022年 3月31日 | |
特許 7033093 | 偏光測定装置、偏光測定方法及び光配向方法 | 2022年 3月 9日 | |
特許 7029520 | 半導体製造装置 | 2022年 3月 3日 | |
特許 7012143 | レチクルの搬送システム及び搬送方法 | 2022年 1月27日 | |
特許 7011670 | 搬入出機構及びリソグラフィー装置のワークテーブルの搬入出装置 | 2022年 1月26日 |
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7166329 7045369 7033093 7029520 7012143 7011670
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4月23日(水) -
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4月23日(水) - 東京 千代田区
4月23日(水) -
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4月24日(木) - 東京 港区
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