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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第12881位 1件
(
2020年:第957位 28件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第701位 31件
(
2020年:第716位 30件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6986139 | 線形モジュールとその動作方法 | 2021年12月22日 | |
| 特許 6986145 | 投影対物レンズ | 2021年12月22日 | |
| 特許 6977052 | チップボンディング装置 | 2021年12月 8日 | |
| 特許 6975264 | 真空引き装置及び真空引き方法 | 2021年12月 1日 | |
| 特許 6967140 | 検流計補正システム及び方法 | 2021年11月17日 | |
| 特許 6954996 | レンズ汚染防止装置および方法 | 2021年10月27日 | |
| 特許 6955025 | シャッター装置 | 2021年10月27日 | |
| 特許 6941684 | リトグラフィ装置の鉛直制御方法 | 2021年 9月29日 | |
| 特許 6941685 | フォトエッチング装置及び方法 | 2021年 9月29日 | |
| 特許 6941695 | 光路補正装置 | 2021年 9月29日 | |
| 特許 6936916 | レチクルを移送するためのフォーク、それに対応するケース及びレチクルの搬送方法 | 2021年 9月22日 | |
| 特許 6937393 | ウェハ搬送ボックス及びウェハ自動搬送システム | 2021年 9月22日 | |
| 特許 6927475 | ボンディング位置合わせのためのデバイスおよび方法 | 2021年 9月 1日 | |
| 特許 6931091 | スピンコーティング装置及び方法 | 2021年 9月 1日 | |
| 特許 6931093 | 液体温度制御装置及び方法 | 2021年 9月 1日 |
31 件中 1-15 件を表示
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6986139 6986145 6977052 6975264 6967140 6954996 6955025 6941684 6941685 6941695 6936916 6937393 6927475 6931091 6931093
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