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シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント カンパニー リミティド

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  2021年 出願公開件数ランキング    第12881位 1件 下降2020年:第957位 28件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第701位 31件 上昇2020年:第716位 30件)

(ランキング更新日:2025年3月28日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6986139 線形モジュールとその動作方法 2021年12月22日
特許 6986145 投影対物レンズ 2021年12月22日
特許 6977052 チップボンディング装置 2021年12月 8日
特許 6975264 真空引き装置及び真空引き方法 2021年12月 1日
特許 6967140 検流計補正システム及び方法 2021年11月17日
特許 6954996 レンズ汚染防止装置および方法 2021年10月27日
特許 6955025 シャッター装置 2021年10月27日
特許 6941684 リトグラフィ装置の鉛直制御方法 2021年 9月29日
特許 6941685 フォトエッチング装置及び方法 2021年 9月29日
特許 6941695 光路補正装置 2021年 9月29日
特許 6936916 レチクルを移送するためのフォーク、それに対応するケース及びレチクルの搬送方法 2021年 9月22日
特許 6937393 ウェハ搬送ボックス及びウェハ自動搬送システム 2021年 9月22日
特許 6927475 ボンディング位置合わせのためのデバイスおよび方法 2021年 9月 1日
特許 6931091 スピンコーティング装置及び方法 2021年 9月 1日
特許 6931093 液体温度制御装置及び方法 2021年 9月 1日

31 件中 1-15 件を表示

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6986139 6986145 6977052 6975264 6967140 6954996 6955025 6941684 6941685 6941695 6936916 6937393 6927475 6931091 6931093

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