セメス株式会社の特許登録一覧 2014年

出願人名に「セメス株式会社」を含むもの

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公報番号	発明の名称	出願人	公報発行日
特許 5641374	基板処理装置	セメス株式会社	2014年12月17日
特許 5639686	基板処理方法	セメス株式会社	2014年12月10日
特許 5630667	基板処理装置	セメス株式会社	2014年11月26日
特許 5626611	基板乾燥装置及び基板乾燥方法	セメス株式会社	2014年11月19日
特許 5578377	基板処理装置及び方法	セメス株式会社	2014年 8月27日
特許 5578374	可変キャパシター、プラズマインピーダンスマッチング装置、及び基板処理装置	セメス株式会社	2014年 8月27日
特許 5572198	基板処理装置及び薬液再生方法	セメス株式会社	2014年 8月13日
特許 5561313	アンテナユニット、それを含む基板処理装置	セメス株式会社	2014年 7月30日
特許 5544669	ガス噴射ユニット及びこれを利用する薄膜蒸着装置及び方法	セメス株式会社	2014年 7月 9日
特許 5544666	基板処理装置	セメス株式会社	2014年 7月 9日
特許 5544667	基板支持ユニット及びこれを含む基板処理装置	セメス株式会社	2014年 7月 9日
特許 5536009	基板加工装置	セメス株式会社	2014年 7月 2日
特許 5516907	基板処理装置及びその基板移送方法	セメス株式会社	2014年 6月11日
特許 5507218	ユーザーインターフェイスを利用して半導体製造設備を制御するシステム、及びその方法	セメス株式会社	2014年 5月28日
特許 5497127	プレート、これを有する基板温度調節装置及びこれを有する基板処理装置。	セメス株式会社	2014年 5月21日

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5641374 5639686 5630667 5626611 5578377 5578374 5572198 5561313 5544669 5544666 5544667 5536009 5516907 5507218 5497127

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