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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第527位 59件
(2022年:第1164位 21件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第756位 32件
(2022年:第3719位 4件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7405932 | 液滴吐出装置およびその製造方法 | 2023年12月26日 | |
特許 7402844 | ビークル検査装置及びそれを有する対象物移送システム | 2023年12月21日 | |
特許 7392055 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2023年12月 5日 | |
特許 7372384 | 基板処理装置および方法 | 2023年10月31日 | |
特許 7372432 | ノズル検査ユニットおよびそれを含む基板処理装置 | 2023年10月31日 | |
特許 7368545 | 基板処理装置および方法 | 2023年10月24日 | |
特許 7368572 | 基板処理装置および方法 | 2023年10月24日 | |
特許 7357110 | 基板処理制御方法、基板処理装置、基板処理方法、及びコンピュータ読出し媒体に格納されたコンピュータプログラム | 2023年10月 5日 | |
特許 7357111 | 基板処理装置 | 2023年10月 5日 | |
特許 7357121 | 基板移送装置および方法 | 2023年10月 5日 | |
特許 7348240 | 基板処理装置および方法 | 2023年 9月20日 | |
特許 7348369 | 凍破防止弁装置およびそれを含む半導体製造装置とその設置方法 | 2023年 9月20日 | |
特許 7337884 | 薬液供給装置 | 2023年 9月 4日 | |
特許 7334219 | インターフェース装置 | 2023年 8月28日 | |
特許 7323674 | 薬液ヒーティング装置およびそれを備える基板処理システム | 2023年 8月 8日 |
32 件中 1-15 件を表示
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7405932 7402844 7392055 7372384 7372432 7368545 7368572 7357110 7357111 7357121 7348240 7348369 7337884 7334219 7323674
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