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セメス株式会社

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  2023年 特許取得件数ランキング    第756位 32件 上昇2022年:第3719位 4件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7405932 液滴吐出装置およびその製造方法 2023年12月26日
特許 7402844 ビークル検査装置及びそれを有する対象物移送システム 2023年12月21日
特許 7392055 基板処理装置および基板処理方法 2023年12月 5日
特許 7372384 基板処理装置および方法 2023年10月31日
特許 7372432 ノズル検査ユニットおよびそれを含む基板処理装置 2023年10月31日
特許 7368545 基板処理装置および方法 2023年10月24日
特許 7368572 基板処理装置および方法 2023年10月24日
特許 7357110 基板処理制御方法、基板処理装置、基板処理方法、及びコンピュータ読出し媒体に格納されたコンピュータプログラム 2023年10月 5日
特許 7357111 基板処理装置 2023年10月 5日
特許 7357121 基板移送装置および方法 2023年10月 5日
特許 7348240 基板処理装置および方法 2023年 9月20日
特許 7348369 凍破防止弁装置およびそれを含む半導体製造装置とその設置方法 2023年 9月20日
特許 7337884 薬液供給装置 2023年 9月 4日
特許 7334219 インターフェース装置 2023年 8月28日
特許 7323674 薬液ヒーティング装置およびそれを備える基板処理システム 2023年 8月 8日

32 件中 1-15 件を表示

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7405932 7402844 7392055 7372384 7372432 7368545 7368572 7357110 7357111 7357121 7348240 7348369 7337884 7334219 7323674

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