セメス株式会社の特許登録一覧 2013年

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公報番号	発明の名称	出願人	公報発行日
特許 5343942	基板研磨装置及び方法	セメス株式会社	2013年11月13日
特許 5341829	基板処理方法及び装置	セメス株式会社	2013年11月13日
特許 5324323	ケミカルフロー方法、及びこれを用いる集積回路素子の製造方法、並びに装置	セメス株式会社	2013年10月23日
特許 5279463	枚葉式基板処理装置及び方法	セメス株式会社	2013年 9月 4日
特許 5273750	スピンヘッド	セメス株式会社	2013年 8月28日
特許 5265622	基板加熱ユニット及びこれを含む基板処理装置	セメス株式会社	2013年 8月14日
特許 5254188	スピンヘッド	セメス株式会社	2013年 8月 7日
特許 5234665	スピンヘッドとこれを有する基板処理装置	セメス株式会社	2013年 7月10日
特許 5218781	基板処理装置	セメス株式会社	2013年 6月26日
特許 5221696	薬液供給ユニット及びそれを有する基板処理装置	セメス株式会社	2013年 6月26日
特許 5196020	基板処理装置及びこれの基板移送方法	セメス株式会社	2013年 5月15日
特許 5190661	基板移送装置、これを有する基板処理装置及びこれの基板移送方法	セメス株式会社	2013年 4月24日
特許 5181306	基板処理システム、露光前後処理ユニット及び基板処理方法	セメス株式会社	2013年 4月10日
特許 5179324	基板処理装置	セメス株式会社	2013年 4月10日
特許 5174791	基板支持ユニットと、それを使用する基板研磨装置及び方法	セメス株式会社	2013年 4月 3日

19 件中 1-15 件を表示

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5343942 5341829 5324323 5279463 5273750 5265622 5254188 5234665 5218781 5221696 5196020 5190661 5181306 5179324 5174791

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