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- 出願人詳細情報 -
出願人名に「セメス株式会社」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5088637 | 切断装置用移送ユニット及びこれを有する切断装置 | セメス株式会社 | 2012年12月 5日 |
| 特許 5072109 | プラズマアンテナおよびこれを含むプラズマ処理装置 | セメス株式会社 | 2012年11月14日 |
| 特許 5048632 | 基板処理装置 | セメス株式会社 | 2012年10月17日 |
| 特許 5020304 | 基板保持装置、それを有する基板処理装置及びそれを利用する基板処理方法 | セメス株式会社 | 2012年 9月 5日 |
| 特許 5004059 | 枚葉式基板研磨装置 | セメス株式会社 | 2012年 8月22日 |
| 特許 5003919 | 基板処理装置及び基板移送方法 | セメス株式会社 | 2012年 8月22日 |
| 特許 4985996 | スクライブ装置、そしてこれを用いた基板切断装置及び方法 | セメス株式会社 | 2012年 7月25日 |
| 特許 4985998 | 基板処理装置及び方法 | セメス株式会社 | 2012年 7月25日 |
| 特許 4973893 | 基板処理装置及び基板処理装置での整備方法 | セメス株式会社 | 2012年 7月11日 |
| 特許 4953103 | スピンヘッド及びこれに使用されるチャックピン並びに基板処理方法 | セメス株式会社 | 2012年 6月13日 |
| 特許 4938749 | 処理流体供給装置及びこれを含む基板処理装置 | セメス株式会社 | 2012年 5月23日 |
| 特許 4936146 | 基板処理装置及びこれを用いた基板処理装置洗浄方法 | セメス株式会社 | 2012年 5月23日 |
| 特許 4914413 | ウエハー洗浄装置及び方法 | セメス株式会社 | 2012年 4月11日 |
| 特許 4911533 | 基板搬送装置及び前記装置に使用される基板ガイドユニット | セメス株式会社 | 2012年 4月 4日 |
| 特許 4904508 | 基板の製造装置及びその方法 | セメス株式会社 | 2012年 3月28日 |
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5088637 5072109 5048632 5020304 5004059 5003919 4985996 4985998 4973893 4953103 4938749 4936146 4914413 4911533 4904508
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