セメス株式会社の特許登録一覧 2012年

出願人名に「セメス株式会社」を含むもの

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公報番号	発明の名称	出願人	公報発行日
特許 5088637	切断装置用移送ユニット及びこれを有する切断装置	セメス株式会社	2012年12月 5日
特許 5072109	プラズマアンテナおよびこれを含むプラズマ処理装置	セメス株式会社	2012年11月14日
特許 5048632	基板処理装置	セメス株式会社	2012年10月17日
特許 5020304	基板保持装置、それを有する基板処理装置及びそれを利用する基板処理方法	セメス株式会社	2012年 9月 5日
特許 5004059	枚葉式基板研磨装置	セメス株式会社	2012年 8月22日
特許 5003919	基板処理装置及び基板移送方法	セメス株式会社	2012年 8月22日
特許 4985996	スクライブ装置、そしてこれを用いた基板切断装置及び方法	セメス株式会社	2012年 7月25日
特許 4985998	基板処理装置及び方法	セメス株式会社	2012年 7月25日
特許 4973893	基板処理装置及び基板処理装置での整備方法	セメス株式会社	2012年 7月11日
特許 4953103	スピンヘッド及びこれに使用されるチャックピン並びに基板処理方法	セメス株式会社	2012年 6月13日
特許 4938749	処理流体供給装置及びこれを含む基板処理装置	セメス株式会社	2012年 5月23日
特許 4936146	基板処理装置及びこれを用いた基板処理装置洗浄方法	セメス株式会社	2012年 5月23日
特許 4914413	ウエハー洗浄装置及び方法	セメス株式会社	2012年 4月11日
特許 4911533	基板搬送装置及び前記装置に使用される基板ガイドユニット	セメス株式会社	2012年 4月 4日
特許 4904508	基板の製造装置及びその方法	セメス株式会社	2012年 3月28日

20 件中 1-15 件を表示

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5088637 5072109 5048632 5020304 5004059 5003919 4985996 4985998 4973893 4953103 4938749 4936146 4914413 4911533 4904508

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