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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第2921位 7件
(2016年:第3099位 6件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第3281位 4件
(2016年:第4304位 3件)
(ランキング更新日:2025年3月27日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6179937 | プラズマエッチング装置及びプラズマエッチング方法 | 2017年 8月16日 | |
特許 6167263 | 窒素含有アモルファスシリコンカーバイドからなるn型半導体及びその製造方法 | 2017年 7月26日 | |
特許 6161061 | ワーク搬送装置 | 2017年 7月12日 | |
特許 6142305 | 静電吸着方法及び静電吸着装置 | 2017年 6月 7日 | |
特許 6093929 | 高アスペクト比の凹凸構造を有するシリコン基板の製造方法 | 2017年 3月15日 |
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6179937 6167263 6161061 6142305 6093929
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