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ユ−ジーン テクノロジー カンパニー.リミテッド

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  2016年 出願公開件数ランキング    第2281位 9件 下降2015年:第1382位 18件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第1366位 15件 上昇2015年:第2434位 6件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6014683 側方排気方式基板処理装置 2016年10月25日
特許 6009677 基板処理装置 2016年10月19日
特許 6002837 基板処理装置 2016年10月 5日
特許 5996084 ヒータ昇降型基板処理装置 2016年 9月21日
特許 5978301 エピタキシャルプロセスのための半導体製造設備 2016年 8月24日
特許 5957609 基板処理装置 2016年 7月27日
特許 5952961 基板処理装置 2016年 7月13日
特許 5919388 位相差を有する反応ガスを供給する基板処理装置 2016年 5月18日
特許 5899318 エピタキシャルプロセスのための半導体製造設備 2016年 4月 6日
特許 5882499 冷却式シャワーヘッド及びそれを具備する基板処理装置 2016年 3月 9日
特許 5879447 処理ユニットを含む基板処理装置 2016年 3月 8日
特許 5848832 熱遮断プレートを含む基板処理装置 2016年 1月27日
特許 5844899 エピタキシャルプロセスのための半導体製造設備 2016年 1月20日
特許 5844900 エピタキシャルプロセスのための半導体製造設備 2016年 1月20日
特許 5844919 補助ガス供給ポートを含む基板処理装置 2016年 1月20日

15 件中 1-15 件を表示

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6014683 6009677 6002837 5996084 5978301 5957609 5952961 5919388 5899318 5882499 5879447 5848832 5844899 5844900 5844919

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