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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第3248位 6件
(2022年:第2638位 8件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第2423位 7件
(2022年:第10281位 1件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7390760 | 基板処理装置 | 2023年12月 4日 | |
特許 7389166 | 基板搬送装置及びこれを備える基板処理装置 | 2023年11月29日 | |
特許 7384489 | 基板支持組立体及び基板処理装置 | 2023年11月21日 | |
特許 7304395 | 基板処理システム | 2023年 7月 6日 | |
特許 7291253 | 薄膜における不純物の除去方法及び基板処理装置 | 2023年 6月14日 | |
特許 7289465 | 薄膜形成方法 | 2023年 6月12日 | |
特許 7288702 | 基板処理装置及び基板処理装置の運用方法 | 2023年 6月 8日 |
7 件中 1-7 件を表示
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7390760 7389166 7384489 7304395 7291253 7289465 7288702
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