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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第2477位 9件 (2016年:第2281位 9件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第1363位 14件 (2016年:第1366位 15件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6231167 | 基板処理装置 | 2017年11月15日 | |
特許 6212063 | 基板搬送ロボット及びそれを用いた基板処理装置 | 2017年10月11日 | |
特許 6182646 | 基板処理装置 | 2017年 8月16日 | |
特許 6165333 | サイクリック薄膜蒸着方法及び半導体製造方法及び半導体素子 | 2017年 7月19日 | |
特許 6165341 | 基板処理装置 | 2017年 7月19日 | |
特許 6158436 | 基板処理装置 | 2017年 7月 5日 | |
特許 6155389 | アモルファスシリコン膜の蒸着方法及び蒸着装置 | 2017年 6月28日 | |
特許 6151829 | 基板処理装置 | 2017年 6月21日 | |
特許 6093860 | 基板処理装置 | 2017年 3月 8日 | |
特許 6088659 | 基板処理装置及びヒータの温度調節方法 | 2017年 3月 1日 | |
特許 6073936 | プロセス空間の高さ別に加熱温度が調節可能なヒータを備える基板処理装置 | 2017年 2月 1日 | |
特許 6067035 | 基板処理モジュール及びそれを含む基板処理装置 | 2017年 1月25日 | |
特許 6062075 | 基板処理装置 | 2017年 1月18日 | |
特許 6060172 | 複数の排気ポートを含む基板処理装置及びその方法 | 2017年 1月11日 |
14 件中 1-14 件を表示
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6231167 6212063 6182646 6165333 6165341 6158436 6155389 6151829 6093860 6088659 6073936 6067035 6062075 6060172
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