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ユ−ジーン テクノロジー カンパニー.リミテッド

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  2017年 出願公開件数ランキング    第2477位 9件 下降2016年:第2281位 9件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第1363位 14件 上昇2016年:第1366位 15件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6231167 基板処理装置 2017年11月15日
特許 6212063 基板搬送ロボット及びそれを用いた基板処理装置 2017年10月11日
特許 6182646 基板処理装置 2017年 8月16日
特許 6165333 サイクリック薄膜蒸着方法及び半導体製造方法及び半導体素子 2017年 7月19日
特許 6165341 基板処理装置 2017年 7月19日
特許 6158436 基板処理装置 2017年 7月 5日
特許 6155389 アモルファスシリコン膜の蒸着方法及び蒸着装置 2017年 6月28日
特許 6151829 基板処理装置 2017年 6月21日
特許 6093860 基板処理装置 2017年 3月 8日
特許 6088659 基板処理装置及びヒータの温度調節方法 2017年 3月 1日
特許 6073936 プロセス空間の高さ別に加熱温度が調節可能なヒータを備える基板処理装置 2017年 2月 1日
特許 6067035 基板処理モジュール及びそれを含む基板処理装置 2017年 1月25日
特許 6062075 基板処理装置 2017年 1月18日
特許 6060172 複数の排気ポートを含む基板処理装置及びその方法 2017年 1月11日

14 件中 1-14 件を表示

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6231167 6212063 6182646 6165333 6165341 6158436 6155389 6151829 6093860 6088659 6073936 6067035 6062075 6060172

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