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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第5574位 3件
(
2020年:第3562位 5件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第2482位 6件
(
2020年:第4019位 3件)
(ランキング更新日:2026年2月27日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6974884 | シャワーヘッド及び基板処理装置 | 2021年12月 1日 | |
| 特許 6967118 | バッチ式基板処理装置及びその運用方法 | 2021年11月17日 | |
| 特許 6896911 | バッチ式基板処理装置 | 2021年 6月30日 | |
| 特許 6896912 | バッチ式基板処理装置 | 2021年 6月30日 | |
| 特許 6829495 | 低温エピタキシャル層の形成方法 | 2021年 2月10日 | |
| 特許 6811273 | 基板処理システム | 2021年 1月13日 |
6 件中 1-6 件を表示
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6974884 6967118 6896911 6896912 6829495 6811273
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