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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第2815位 7件 (2018年:第2064位 10件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第1635位 10件 (2018年:第2454位 6件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6615336 | 基板処理装置及びチューブ組立体の組立方法 | 2019年12月 4日 | |
特許 6609006 | バッチ式プラズマ基板処理装置 | 2019年11月20日 | |
特許 6586150 | 基板処理装置 | 2019年10月 2日 | |
特許 6578015 | 基板処理装置 | 2019年 9月18日 | |
特許 6564904 | 基板処理装置 | 2019年 8月21日 | |
特許 6564943 | 基板処理装置 | 2019年 8月21日 | |
特許 6556850 | ガスの多重供給方法及びガスの多重供給装置 | 2019年 8月 7日 | |
特許 6516871 | 非晶質薄膜の形成方法 | 2019年 5月22日 | |
特許 6499771 | 基板処理装置 | 2019年 4月10日 | |
特許 6475863 | 基板処理装置 | 2019年 2月27日 |
10 件中 1-10 件を表示
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6615336 6609006 6586150 6578015 6564904 6564943 6556850 6516871 6499771 6475863
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