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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第3248位 6件
(2022年:第2638位 8件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第2423位 7件
(2022年:第10281位 1件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2023-129321 | バッチ式基板処理装置 | 2023年 9月14日 | |
特開 2023-117389 | バッチ式基板処理装置 | 2023年 8月23日 | |
特開 2023-110911 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年 8月 9日 | |
特開 2023-100784 | 基板処理方法 | 2023年 7月19日 | |
特開 2023-48154 | シャワーヘッド及び基板処理装置 | 2023年 4月 6日 | |
特表 2023-503313 | 基板処理装置 | 2023年 1月27日 |
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2023-129321 2023-117389 2023-110911 2023-100784 2023-48154 2023-503313
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