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ユ−ジーン テクノロジー カンパニー.リミテッド

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  2015年 出願公開件数ランキング    第1382位 18件 上昇2014年: 0件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第2434位 6件 上昇2014年: 0件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2015-531546 ヒューム除去装置及び基板処理装置 2015年11月 2日
特表 2015-531171 基板処理装置 2015年10月29日
特表 2015-529983 基板処理装置 2015年10月 8日
特開 2015-179820 プロセス空間の高さ別に加熱温度が調節可能なヒータを備える基板処理装置 2015年10月 8日
特表 2015-527747 基板処理装置 2015年 9月17日
特開 2015-154083 基板搬送ロボット及びそれを用いた基板処理装置 2015年 8月24日
特表 2015-523717 基板処理装置 2015年 8月13日
特表 2015-520514 基板処理装置 2015年 7月16日
特開 2015-128159 薄膜層の周期的蒸着方法及び半導体製造方法、並びに半導体素子 2015年 7月 9日
特開 2015-122502 基板処理モジュール、これを含む基板処理装置及び基板搬送方法 2015年 7月 2日
特開 2015-122503 基板処理装置 2015年 7月 2日
特表 2015-517202 ヒータ昇降型基板処理装置 2015年 6月18日
特表 2015-511399 基板処理モジュール及びそれを含む基板処理装置 2015年 4月16日
特表 2015-507702 側方排気方式基板処理装置 2015年 3月12日
特表 2015-504601 熱遮断プレートを含む基板処理装置 2015年 2月12日

18 件中 1-15 件を表示

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2015-531546 2015-531171 2015-529983 2015-179820 2015-527747 2015-154083 2015-523717 2015-520514 2015-128159 2015-122502 2015-122503 2015-517202 2015-511399 2015-507702 2015-504601

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