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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

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  2016年 出願公開件数ランキング    第5242位 3件 下降2015年:第3076位 6件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第959位 23件 上昇2015年:第2211位 7件)

(ランキング更新日:2025年8月25日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5893705 基板処理装置 2016年 3月23日
特許 5890255 露光装置、基板処理装置、基板の露光方法および基板処理方法 2016年 3月22日
特許 5875759 熱処理方法および熱処理装置 2016年 3月 2日
特許 5852219 基板処理方法および基板処理装置 2016年 2月 3日
特許 5841389 基板処理装置および基板処理方法 2016年 1月13日
特許 5841492 現像処理装置 2016年 1月13日
特許 5841493 現像処理装置 2016年 1月13日
特許 5841007 薬液供給方法と基板処理装置 2016年 1月 6日

23 件中 16-23 件を表示

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5893705 5890255 5875759 5852219 5841389 5841492 5841493 5841007

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