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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第4224位 4件
(2015年:第2742位 7件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第2983位 5件
(2015年:第2775位 5件)
(ランキング更新日:2025年4月2日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5972324 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2016年 8月17日 | |
特許 5956536 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2016年 7月27日 | |
特許 5941505 | リフロ処理ユニット及び基板処理装置 | 2016年 6月29日 | |
特許 5902795 | バッフルアセンブリー及びこれを有する基板処理装置 | 2016年 4月13日 | |
特許 5866109 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2016年 2月17日 |
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5972324 5956536 5941505 5902795 5866109
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