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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第34787位 0件
(
2016年:第4224位 4件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第4057位 3件
(
2016年:第2983位 5件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6126052 | リフロ処理ユニット及び基板処理装置 | 2017年 5月10日 | |
| 特許 6103725 | フタレートを利用したディバイスパッケージング設備及びその方法、そしてディバイス処理装置 | 2017年 3月29日 | |
| 特許 6071978 | 相互誘導結合を利用するプラズマ生成装置及びそれを含む基板処理装置 | 2017年 2月 1日 |
3 件中 1-3 件を表示
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6126052 6103725 6071978
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