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アイエムエス ナノファブリケーション アーゲー
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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第4217位 4件
（
2018年：第12016位 1件）
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第2665位 5件
（2018年：第5361位 2件）
（ランキング更新日：2026年10月19日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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アイエムエス ナノファブリケーション アーゲーの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6592661 | パターン切削用マルチビーム・ツール | 2019年10月23日 | |
| 特許 6587453 | マルチビーム描画装置における短距離転位の補正 | 2019年10月 9日 | |
| 特許 6566727 | 重複する露光スポットを使用する線量不均一性の補償 | 2019年 8月28日 | |
| 特許 6544020 | パターン切削用マルチビーム・ツール | 2019年 7月17日 | |
| 特許 6491842 | 補正プレートを有する荷電粒子多重ビーム装置 | 2019年 3月27日 |
5 件中 1-5 件を表示
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6592661 6587453 6566727 6544020 6491842
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