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出願人名に「株式会社テラセミコン」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5069164 | ソースガス供給装置 | 株式会社テラセミコン | 2012年11月 7日 |
| 特許 5059157 | 半導体の製造装置と半導体基板のローディング及び／又はアンローディング方法 | 株式会社テラセミコン | 2012年10月24日 |
| 特許 4989589 | ソースガス供給装置 | 株式会社テラセミコン | 2012年 8月 1日 |
3 件中 1-3 件を表示
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5069164 5059157 4989589
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