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出願人名に「株式会社テラセミコン」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5364156 | ホルダステージ | 株式会社テラセミコン | 2013年12月11日 |
| 特許 5302642 | 化学気相蒸着工程におけるソース物質の量の測定方法 | 株式会社テラセミコン | 2013年10月 2日 |
| 特許 5166946 | ソースガス供給装置及び方法 | 株式会社テラセミコン | 2013年 3月21日 |
3 件中 1-3 件を表示
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5364156 5302642 5166946
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