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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
---|---|---|---|
特許 5602157 | バッチ式基板処理装置 | 株式会社テラセミコン | 2014年10月 8日 |
特許 5390213 | ボート | 株式会社テラセミコン | 2014年 1月15日 |
特許 5380305 | 半導体素子の製造方法 | 株式会社テラセミコン | 2014年 1月 8日 |
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5602157 5390213 5380305
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9月4日(木) - 大阪 大阪市
9月4日(木) -
9月4日(木) - 大阪 大阪市
9月5日(金) -
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9月6日(土) -
9月4日(木) - 大阪 大阪市
9月10日(水) - 東京 港区
9月10日(水) - 東京 港区
9月10日(水) -
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9月11日(木) - 広島 広島
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9月12日(金) -
9月12日(金) -