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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2023-118970 | 基板処理方法、該方法を用いる基板処理装置及び半導体素子製造方法 | 2023年 8月25日 | |
特開 2023-80055 | 基板処理装置 | 2023年 6月 8日 | |
特開 2023-43166 | 基板処理装置 | 2023年 3月28日 | |
特開 2023-36563 | 基板処理装置 | 2023年 3月14日 | |
特開 2023-36566 | 基板処理装置 | 2023年 3月14日 | |
特開 2023-36568 | 基板処理装置 | 2023年 3月14日 | |
特開 2023-36572 | 基板処理装置 | 2023年 3月14日 | |
特開 2023-7341 | チャンバ内部処理方法及び基板処理方法 | 2023年 1月18日 |
8 件中 1-8 件を表示
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2023-118970 2023-80055 2023-43166 2023-36563 2023-36566 2023-36568 2023-36572 2023-7341
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