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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第2569位 8件
(2022年:第2638位 8件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第2423位 7件
(2022年:第3719位 4件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7383096 | 基板処理装置 | 2023年11月17日 | |
特許 7372289 | 基板処理方法、該方法を用いる基板処理装置及び半導体素子製造方法 | 2023年10月31日 | |
特許 7372408 | 基板処理装置 | 2023年10月31日 | |
特許 7350829 | 基板処理方法 | 2023年 9月26日 | |
特許 7317079 | 薄膜形成方法及び装置 | 2023年 7月28日 | |
特許 7223815 | 基板処理方法 | 2023年 2月16日 | |
特許 7210864 | 薄膜形成方法 | 2023年 1月24日 |
7 件中 1-7 件を表示
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7383096 7372289 7372408 7350829 7317079 7223815 7210864
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