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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第1015位 27件
(2015年:第2117位 10件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第1218位 17件
(2015年:第3293位 4件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6029387 | 放電ランプ着脱機構 | 2016年11月24日 | |
特許 6022759 | 反射屈折型投影光学系およびそれを備えた投影露光装置 | 2016年11月 9日 | |
特許 5973207 | マスクレス露光装置 | 2016年 8月23日 | |
特許 5957262 | 放電ランプを備えた照明装置 | 2016年 7月27日 | |
特許 5918429 | 加湿方法及び加湿装置 | 2016年 5月18日 | |
特許 5903426 | 位置合わせ装置及びその位置合わせ装置を備える露光装置 | 2016年 4月13日 | |
特許 5898849 | 放電ランプ | 2016年 4月 6日 | |
特許 5892754 | エキシマランプおよび放電ランプの点灯方法 | 2016年 3月23日 | |
特許 5893537 | 露光装置の除塵装置及び除塵方法 | 2016年 3月23日 | |
特許 5881313 | 露光装置 | 2016年 3月 9日 | |
特許 5881314 | 露光装置 | 2016年 3月 9日 | |
特許 5876661 | 放電ランプおよび放電ランプの製造方法 | 2016年 3月 2日 | |
特許 5873327 | 露光用調光装置 | 2016年 3月 1日 | |
特許 5850451 | 高熱伝導性炭素繊維バルクおよびその製造方法 | 2016年 2月 3日 | |
特許 5846821 | 放電ランプ点灯装置および点灯方法 | 2016年 1月20日 |
18 件中 1-15 件を表示
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6029387 6022759 5973207 5957262 5918429 5903426 5898849 5892754 5893537 5881313 5881314 5876661 5873327 5850451 5846821
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