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株式会社オーク製作所

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  2016年 特許取得件数ランキング    第1218位 17件 上昇2015年:第3293位 4件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6029387 放電ランプ着脱機構 2016年11月24日
特許 6022759 反射屈折型投影光学系およびそれを備えた投影露光装置 2016年11月 9日
特許 5973207 マスクレス露光装置 2016年 8月23日
特許 5957262 放電ランプを備えた照明装置 2016年 7月27日
特許 5918429 加湿方法及び加湿装置 2016年 5月18日
特許 5903426 位置合わせ装置及びその位置合わせ装置を備える露光装置 2016年 4月13日
特許 5898849 放電ランプ 2016年 4月 6日
特許 5892754 エキシマランプおよび放電ランプの点灯方法 2016年 3月23日
特許 5893537 露光装置の除塵装置及び除塵方法 2016年 3月23日
特許 5881313 露光装置 2016年 3月 9日
特許 5881314 露光装置 2016年 3月 9日
特許 5876661 放電ランプおよび放電ランプの製造方法 2016年 3月 2日
特許 5873327 露光用調光装置 2016年 3月 1日
特許 5850451 高熱伝導性炭素繊維バルクおよびその製造方法 2016年 2月 3日
特許 5846821 放電ランプ点灯装置および点灯方法 2016年 1月20日

18 件中 1-15 件を表示

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6029387 6022759 5973207 5957262 5918429 5903426 5898849 5892754 5893537 5881313 5881314 5876661 5873327 5850451 5846821

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