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(
2018年:第1193位 21件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第824位 25件
(
2018年:第1043位 19件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6623062 | ショートアーク型放電ランプ | 2019年12月18日 | |
| 特許 6590638 | 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置用投影光学系 | 2019年10月16日 | |
| 特許 6580500 | 放電ランプ | 2019年 9月25日 | |
| 特許 6577884 | ショートアーク型放電ランプ | 2019年 9月18日 | |
| 特許 6573513 | 紫外線照射装置および放電ランプ | 2019年 9月11日 | |
| 特許 6570398 | 放電ランプ | 2019年 9月 4日 | |
| 特許 6564598 | 放電ランプ | 2019年 8月21日 | |
| 特許 6564663 | エキシマランプ装置 | 2019年 8月21日 | |
| 特許 6557011 | エキシマランプ | 2019年 8月 7日 | |
| 特許 6554330 | マスクレス露光装置および露光方法 | 2019年 7月31日 | |
| 特許 6545964 | エキシマランプ装置 | 2019年 7月17日 | |
| 特許 6541362 | エキシマランプ | 2019年 7月10日 | |
| 特許 6543061 | 基板矯正治具を用いる露光装置、及び基板矯正治具 | 2019年 7月10日 | |
| 特許 6537309 | 露光装置および露光方法 | 2019年 7月 3日 | |
| 特許 6537407 | 投影露光装置 | 2019年 7月 3日 |
26 件中 1-15 件を表示
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6623062 6590638 6580500 6577884 6573513 6570398 6564598 6564663 6557011 6554330 6545964 6541362 6543061 6537309 6537407
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