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株式会社オーク製作所

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  2019年 出願公開件数ランキング    第1341位 19件 下降2018年:第1193位 21件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第824位 25件 上昇2018年:第1043位 19件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6623062 ショートアーク型放電ランプ 2019年12月18日
特許 6590638 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置用投影光学系 2019年10月16日
特許 6580500 放電ランプ 2019年 9月25日
特許 6577884 ショートアーク型放電ランプ 2019年 9月18日
特許 6573513 紫外線照射装置および放電ランプ 2019年 9月11日
特許 6570398 放電ランプ 2019年 9月 4日
特許 6564598 放電ランプ 2019年 8月21日
特許 6564663 エキシマランプ装置 2019年 8月21日
特許 6557011 エキシマランプ 2019年 8月 7日
特許 6554330 マスクレス露光装置および露光方法 2019年 7月31日
特許 6545964 エキシマランプ装置 2019年 7月17日
特許 6541362 エキシマランプ 2019年 7月10日
特許 6543061 基板矯正治具を用いる露光装置、及び基板矯正治具 2019年 7月10日
特許 6537309 露光装置および露光方法 2019年 7月 3日
特許 6537407 投影露光装置 2019年 7月 3日

26 件中 1-15 件を表示

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6623062 6590638 6580500 6577884 6573513 6570398 6564598 6564663 6557011 6554330 6545964 6541362 6543061 6537309 6537407

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