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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7406946 | 露光装置およびその性能評価方法 | 2023年12月28日 | |
特許 7405364 | 防虫方法及び防虫システム | 2023年12月26日 | |
特許 7399552 | 収納体搬送装置及びレーザ加工装置 | 2023年12月18日 | |
特許 7399004 | 紫外線照射装置およびオゾン生成装置 | 2023年12月15日 | |
特許 7399007 | オゾン生成装置および放電ランプ装置 | 2023年12月15日 | |
特許 7393087 | アブレーション加工用の加工装置および加工方法 | 2023年12月 6日 | |
特許 7386074 | エキシマランプおよびエキシマランプの管内設置方法 | 2023年11月24日 | |
特許 7383341 | ダイレクト露光装置および基板の露光方法 | 2023年11月20日 | |
特許 7377750 | 放電ランプおよび放電ランプ用電極の製造方法 | 2023年11月10日 | |
特許 7370037 | オゾン生成装置およびオゾン生成方法 | 2023年10月27日 | |
特許 7369529 | 露光装置およびアライメント方法 | 2023年10月26日 | |
特許 7357480 | オゾン処理装置および処理装置 | 2023年10月 6日 | |
特許 7346687 | 放電ランプおよびオゾン生成方法 | 2023年 9月19日 | |
特許 7339047 | オゾン処理装置 | 2023年 9月 5日 | |
特許 7337016 | 光源装置およびオゾン生成装置 | 2023年 9月 1日 |
34 件中 1-15 件を表示
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7406946 7405364 7399552 7399004 7399007 7393087 7386074 7383341 7377750 7370037 7369529 7357480 7346687 7339047 7337016
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