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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7193676 | 放電ランプ | 2022年12月20日 | |
特許 7185521 | 放電ランプ | 2022年12月 7日 | |
特許 7179420 | 投影露光装置及び投影露光装置に使用する遮光板 | 2022年11月29日 | |
特許 7175109 | ショートアーク型放電ランプ | 2022年11月18日 | |
特許 7175149 | 露光装置および露光方法 | 2022年11月18日 | |
特許 7175150 | 露光装置 | 2022年11月18日 | |
特許 7175228 | 放電ランプおよびその製造方法 | 2022年11月18日 | |
特許 7175409 | 露光装置 | 2022年11月18日 | |
特許 7169480 | 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置 | 2022年11月10日 | |
特許 7162430 | 投影露光装置 | 2022年10月28日 | |
特許 7158097 | 放電ランプおよび放電ランプの製造方法 | 2022年10月21日 | |
特許 7155481 | 放電ランプおよびオゾン生成方法 | 2022年10月19日 | |
特許 7145429 | 放電ランプ | 2022年10月 3日 | |
特許 7145597 | オゾン生成装置およびエキシマランプ点灯方法 | 2022年10月 3日 | |
特許 7145620 | 投影露光装置 | 2022年10月 3日 |
34 件中 1-15 件を表示
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7193676 7185521 7179420 7175109 7175149 7175150 7175228 7175409 7169480 7162430 7158097 7155481 7145429 7145597 7145620
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