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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第3520位 5件
(2017年:第4465位 4件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第3222位 4件
(2017年:第2490位 6件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2018-537590 | 基板把持装置 | 2018年12月20日 | |
特表 2018-517293 | 基板のベベルおよび裏面を保護するための装置 | 2018年 6月28日 | |
特表 2018-514953 | 半導体ウエハの洗浄方法および洗浄装置 | 2018年 6月 7日 | |
特表 2018-506854 | サイドウォールの凹部を最小化するためのバリア層除去方法 | 2018年 3月 8日 | |
特表 2018-506858 | 落下防止機能を有する半導体デバイス洗浄装置、および、その装置を備えるチャンバ | 2018年 3月 8日 |
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2018-537590 2018-517293 2018-514953 2018-506854 2018-506858
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3月21日(金) -
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3月21日(金) -
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3月25日(火) -
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