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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6899449 | 切削油組成物 | 2021年 7月 7日 | |
特許 6882336 | 反射防止コーティング液組成物及びこれを用いた反射防止コーティング膜 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6847978 | ネガ型フォトレジストを用いたパターニング工程におけるLWR改善方法及び組成物 | 2021年 3月24日 | |
特許 6837497 | フォトレジストパターン縮小組成物及びパターン縮小方法 | 2021年 3月 3日 | |
特許 6837540 | 化学増幅型ネガ型フォトレジスト組成物 | 2021年 3月 3日 | |
特許 6818138 | 高耐エッチング性スピンオンカーボンハードマスク組成物及びそれを用いたパターン化方法 | 2021年 1月20日 | |
特許 6812567 | 化学的機械的研磨後の洗浄用組成物 | 2021年 1月13日 |
7 件中 1-7 件を表示
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6899449 6882336 6847978 6837497 6837540 6818138 6812567
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