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バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド

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  2013年 出願公開件数ランキング    第1715位 15件 下降2012年:第1605位 15件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第1509位 16件 上昇2012年:第1614位 15件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特表 2013-546165 レジストフィーチャの表面粗度を低減する方法、パターニングレジストフィーチャの粗度を修正する方法、および、レジストフィーチャを処理するシステム 2013年12月26日
特表 2013-541839 ビームブロッカを用いたワークピースへのパターン注入 2013年11月14日
特表 2013-541845 多段階イオン注入を利用してパターニングされたフォトレジストを修正する方法およびシステム 2013年11月14日
特表 2013-536561 スパッタリングターゲット供給システム 2013年 9月19日
特表 2013-535074 基板プラズマ処理技術 2013年 9月 9日
特表 2013-527970 高密度ワイドリボンイオンビーム生成のための小型プラズマソース 2013年 7月 4日
特表 2013-525980 分子イオンの生成 2013年 6月20日
特開 2013-93327 リボンビームの均一性向上のための方法 2013年 5月16日
特表 2013-516071 プラズマシース変調によるワークピースのパターニング 2013年 5月 9日
特表 2013-511131 イオンビームを操作するシステムおよび方法 2013年 3月28日
特表 2013-510432 太陽電池製造用の自己位置合わせマスキング 2013年 3月21日
特表 2013-508949 表面が平坦でない基板を処理する方法 2013年 3月 7日
特表 2013-502053 最適化された低温ハロー注入又はポケット注入 2013年 1月17日
特表 2013-502024 パターンド磁気ビットデータ記録媒体およびその製造方法 2013年 1月17日
特表 2013-501360 ファラデープローブを利用したマスクの状態のモニタリング 2013年 1月10日

15 件中 1-15 件を表示

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2013-546165 2013-541839 2013-541845 2013-536561 2013-535074 2013-527970 2013-525980 2013-93327 2013-516071 2013-511131 2013-510432 2013-508949 2013-502053 2013-502024 2013-501360

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