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バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド

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バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッドの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特許 5320644	イオン注入システム、イオンを注入する方法、および、イオンビームから所望されない粒子を除去する方法	2013年10月23日
特許 5299278	低温イオン注入技術	2013年 9月25日
特許 5285909	イオンビームを調整する方法、システム、及びプログラム	2013年 9月11日
特許 5280206	差動ポンピングを容易にする装置、プロセッサ可読担体およびその方法	2013年 9月 4日
特許 5276325	イオン注入機の加速減速コラムの焦点効果低減	2013年 8月28日
特許 5245182	誘電フィンを有する絶縁導体を備えるイオン注入装置およびイオン注入装置のロバスト性を改善する方法	2013年 7月24日
特許 5215846	イオンビーム角度広がりの制御技術	2013年 6月19日
特許 5209489	寄生ビームレットがイオン注入に影響を及ぼすことを防ぐ技術	2013年 6月12日
特許 5203221	２つの次元でイオンビーム角を測定する方法及び装置	2013年 6月 5日
特許 5196357	デュアルポンプモードを有するイオン注入装置およびその方法	2013年 5月15日	共同出願
特許 5185137	リボンビームの均一性向上のための装置、担体およびその方法	2013年 4月17日
特許 5172668	イオンビーム角度処理制御技術	2013年 3月27日
特許 5149203	電磁石、イオン注入システム、イオン注入システム用のフィルタリングシステム、質量分析に用いる電磁石、および開口フレーム型電磁石の磁場を閉じ込める方法	2013年 2月20日
特許 5135206	プラズマ注入方法およびプラズマドーピング装置	2013年 2月 6日
特許 5129734	固定ビーム型イオン注入装置およびその方法	2013年 1月30日

16 件中 1-15 件を表示

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5320644 5299278 5285909 5280206 5276325 5245182 5215846 5209489 5203221 5196357 5185137 5172668 5149203 5135206 5129734

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