株式会社アオイ
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株式会社アオイの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7162845 | 静電チャックシステム、成膜装置、吸着及び分離方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2022年10月31日 | |
| 特許 7120545 | 成膜装置、成膜方法及びこれを用いる有機ＥＬ表示装置の製造方法 | 2022年 8月17日 | |
| 特許 7012962 | 静電チャック、これを含む成膜装置、基板の保持及び分離方法、これを含む成膜方法、及びこれを用いる電子デバイスの製造方法 | 2022年 1月31日 | |
| 特許 7007688 | 吸着装置、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 1月25日 |
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7162845 7120545 7012962 7007688
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