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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第220位 207件
(2011年:第183位 239件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第114位 356件
(2011年:第141位 260件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5107988 | 基板の最適テイクオーバー高さを較正するための較正方法およびリソグラフィ装置 | 2012年12月26日 | |
特許 5108926 | リソグラフィ装置およびリソグラフィ装置用のシール装置 | 2012年12月26日 | |
特許 5108157 | リソグラフィ投影装置 | 2012年12月26日 | |
特許 5108077 | 較正方法およびそのような較正方法を用いるリソグラフィ装置 | 2012年12月26日 | |
特許 5108045 | リソグラフィ装置 | 2012年12月26日 | |
特許 5108737 | リソグラフィ投影装置 | 2012年12月26日 | |
特許 5107414 | リソグラフィ装置、着脱可能部材及び該部材の製造方法 | 2012年12月26日 | |
特許 5103082 | リソグラフィシステム、デバイス製造方法、およびコンピュータプログラム | 2012年12月19日 | |
特許 5102247 | 液浸リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | 2012年12月19日 | |
特許 5103512 | リソグラフィ装置の基板またはパターニングデバイスの支持体 | 2012年12月19日 | |
特許 5102275 | リソグラフィ装置および位置決め装置 | 2012年12月19日 | |
特許 5100887 | 基板のモデルを評価する方法 | 2012年12月19日 | |
特許 5103451 | リソグラフィ装置及び位置合わせ方法 | 2012年12月19日 | |
特許 5102375 | リソグラフィ装置 | 2012年12月19日 | |
特許 5100768 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2012年12月19日 |
356 件中 1-15 件を表示
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5107988 5108926 5108157 5108077 5108045 5108737 5107414 5103082 5102247 5103512 5102275 5100887 5103451 5102375 5100768
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