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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2014年 出願公開件数ランキング    第521位 66件 下降2013年:第306位 142件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第203位 208件 下降2013年:第137位 291件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5646580 リソグラフィ方法及び装置 2014年12月24日
特許 5646632 光学装置及び反射要素を方向付ける方法 2014年12月24日
特許 5643779 EUVプラズマ源ターゲット供給システム 2014年12月17日
特許 5642140 基板ホルダ、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2014年12月17日
特許 5638550 リソグラフィ装置及びリソグラフィ投影方法 2014年12月10日
特許 5639016 リソグラフィ装置 2014年12月10日
特許 5639023 空間光変調器の較正 2014年12月10日
特許 5639605 リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2014年12月10日
特許 5635847 アクチュエータ、位置決めシステム、およびリソグラフィ装置 2014年12月 3日
特許 5634490 サポート、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 2014年12月 3日
特許 5635969 液浸リソグラフィ装置およびクリーニング方法 2014年12月 3日
特許 5634942 テーブルおよびリソグラフィ方法 2014年12月 3日
特許 5632259 マスク・パターンを生成するためのリソグラフィ装置、方法、及びコンピュータ・プログラマ製品並びにそれらを使用するデバイス製造方法 2014年11月26日
特許 5629691 高速自由形式ソース・マスク同時最適化方法 2014年11月26日
特許 5632894 リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2014年11月26日

208 件中 1-15 件を表示

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5646580 5646632 5643779 5642140 5638550 5639016 5639023 5639605 5635847 5634490 5635969 5634942 5632259 5629691 5632894

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