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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2011年 出願公開件数ランキング    第183位 239件 上昇2010年:第192位 261件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第141位 260件 下降2010年:第110位 276件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4847418 リソグラフィ装置及び方法 2011年12月28日
特許 4845766 リソグラフィ装置、デバイス製造方法およびエネルギセンサ 2011年12月28日
特許 4848003 傾斜したシャワーヘッドを備える液浸リソグラフィシステムおよび液浸リソグラフィ方法 2011年12月28日 共同出願
特許 4846762 リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2011年12月28日
特許 4847998 リソグラフィ装置 2011年12月28日
特許 4845954 リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 2011年12月28日
特許 4847936 露光装置 2011年12月28日
特許 4847494 少量レジストディスペンサ 2011年12月28日
特許 4848229 リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2011年12月28日
特許 4842995 電子機器ラック及びそのような電子機器ラックを備えるリソグラフィ装置 2011年12月21日
特許 4842216 インプリントリソグラフィ 2011年12月21日 共同出願
特許 4841239 リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2011年12月21日
特許 4839288 リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2011年12月21日
特許 4841490 位置決めデバイスを備えるリソグラフィ装置及びその制御方法 2011年12月21日 共同出願
特許 4842285 デバイス製造方法、コンピュータプログラムおよびリソグラフィ装置 2011年12月21日

260 件中 1-15 件を表示

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4847418 4845766 4848003 4846762 4847998 4845954 4847936 4847494 4848229 4842995 4842216 4841239 4839288 4841490 4842285

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