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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第183位 239件
(2010年:第192位 261件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第141位 260件
(2010年:第110位 276件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4847418 | リソグラフィ装置及び方法 | 2011年12月28日 | |
特許 4845766 | リソグラフィ装置、デバイス製造方法およびエネルギセンサ | 2011年12月28日 | |
特許 4848003 | 傾斜したシャワーヘッドを備える液浸リソグラフィシステムおよび液浸リソグラフィ方法 | 2011年12月28日 | 共同出願 |
特許 4846762 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2011年12月28日 | |
特許 4847998 | リソグラフィ装置 | 2011年12月28日 | |
特許 4845954 | リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 | 2011年12月28日 | |
特許 4847936 | 露光装置 | 2011年12月28日 | |
特許 4847494 | 少量レジストディスペンサ | 2011年12月28日 | |
特許 4848229 | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | 2011年12月28日 | |
特許 4842995 | 電子機器ラック及びそのような電子機器ラックを備えるリソグラフィ装置 | 2011年12月21日 | |
特許 4842216 | インプリントリソグラフィ | 2011年12月21日 | 共同出願 |
特許 4841239 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2011年12月21日 | |
特許 4839288 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2011年12月21日 | |
特許 4841490 | 位置決めデバイスを備えるリソグラフィ装置及びその制御方法 | 2011年12月21日 | 共同出願 |
特許 4842285 | デバイス製造方法、コンピュータプログラムおよびリソグラフィ装置 | 2011年12月21日 |
260 件中 1-15 件を表示
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4847418 4845766 4848003 4846762 4847998 4845954 4847936 4847494 4848229 4842995 4842216 4841239 4839288 4841490 4842285
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