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SUMCO TECHXIV株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第1902位 12件 上昇2011年:第2115位 10件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第926位 32件 下降2011年:第494位 65件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5092162 半導体ウェーハの製造方法および製造装置 2012年12月 5日
特許 5074831 半導体ウェハのバルク中の不純物金属の析出方法、半導体ウェハの分析方法、及びバルク中に不純物Cuのない半導体ウェハの製造方法 2012年11月14日
特許 5074845 半導体ウェハの研削方法、及び半導体ウェハの加工方法 2012年11月14日
特許 5073257 単結晶製造装置及び方法 2012年11月14日
特許 5074826 ドーパントの注入方法、及びドーピング装置 2012年11月14日
特許 5069424 成膜反応装置及び同方法 2012年11月 7日
特許 5060755 半導体ウェハの粗研磨方法、及び半導体ウェハの研磨装置 2012年10月31日
特許 5059718 半導体単結晶製造装置用の排気部材 2012年10月31日
特許 5049544 シリコン単結晶の製造方法、シリコン単結晶の製造制御装置、及びプログラム 2012年10月17日
特許 5026356 拡散ウェーハの製造方法 2012年 9月12日
特許 5004513 気相成長装置及び気相成長方法 2012年 8月22日
特許 5000597 半導体ウェーハの支持具 2012年 8月15日
特許 4994527 坩堝ハンドリング装置および坩堝ハンドリングキット 2012年 8月 8日
特許 4977910 ワイヤによるワークの切断方法 2012年 7月18日
特許 4966267 リチャージ装置、原料供給装置、及びインゴット引上げ装置 2012年 7月 4日

32 件中 1-15 件を表示

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5092162 5074831 5074845 5073257 5074826 5069424 5060755 5059718 5049544 5026356 5004513 5000597 4994527 4977910 4966267

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