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ブルックス オートメーション インコーポレイテッド

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  2012年 特許取得件数ランキング    第1691位 14件 上昇2011年:第2071位 10件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5065900 基板処理装置 2012年11月 7日
特許 5065899 第3種の気体の排気用高コンダクタンス・クライオポンプ 2012年11月 7日
特許 5046429 基板処理装置のガス計測制御 2012年10月10日
特許 5043839 予知保全用インテリジェント状態監視及び障害診断システム 2012年10月10日
特許 5046468 非モデル化ダイナミックス系のためのオブザーバ−修正子制御システム及び方法 2012年10月10日
特許 5046435 基板搬送装置及び方法 2012年10月10日
特許 5026413 拡張可能な動作制御システム 2012年 9月12日
特許 4977817 生物学的サンプルを格納し配置する格納ユニット及び移動システム 2012年 7月18日
特許 4975238 基板を移送するためのシステム 2012年 7月11日
特許 4959053 基板搬送装置及び基板搬送方法 2012年 6月20日
特許 4909260 クライオポンプ用バルブ・アセンブリ 2012年 4月 4日
特許 4895499 静的L字形シール・リングを有する軸方向負荷方式シール機構 2012年 3月14日
特許 4880200 半導体ロードポートアラインメント装置 2012年 2月22日
特許 4866504 基板搬送装置、その駆動システム及び動作方法 2012年 2月 1日

14 件中 1-14 件を表示

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5065900 5065899 5046429 5043839 5046468 5046435 5026413 4977817 4975238 4959053 4909260 4895499 4880200 4866504

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