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ブルックス オートメーション インコーポレイテッド
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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第2313位 9件
（
2011年：第1434位 17件）
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第1691位 14件
（
2011年：第2071位 10件）
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ブルックス オートメーション インコーポレイテッドの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5065900 | 基板処理装置 | 2012年11月 7日 | |
| 特許 5065899 | 第３種の気体の排気用高コンダクタンス・クライオポンプ | 2012年11月 7日 | |
| 特許 5046429 | 基板処理装置のガス計測制御 | 2012年10月10日 | |
| 特許 5043839 | 予知保全用インテリジェント状態監視及び障害診断システム | 2012年10月10日 | |
| 特許 5046468 | 非モデル化ダイナミックス系のためのオブザーバ−修正子制御システム及び方法 | 2012年10月10日 | |
| 特許 5046435 | 基板搬送装置及び方法 | 2012年10月10日 | |
| 特許 5026413 | 拡張可能な動作制御システム | 2012年 9月12日 | |
| 特許 4977817 | 生物学的サンプルを格納し配置する格納ユニット及び移動システム | 2012年 7月18日 | |
| 特許 4975238 | 基板を移送するためのシステム | 2012年 7月11日 | |
| 特許 4959053 | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | 2012年 6月20日 | |
| 特許 4909260 | クライオポンプ用バルブ・アセンブリ | 2012年 4月 4日 | |
| 特許 4895499 | 静的Ｌ字形シール・リングを有する軸方向負荷方式シール機構 | 2012年 3月14日 | |
| 特許 4880200 | 半導体ロードポートアラインメント装置 | 2012年 2月22日 | |
| 特許 4866504 | 基板搬送装置、その駆動システム及び動作方法 | 2012年 2月 1日 |
14 件中 1-14 件を表示
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5065900 5065899 5046429 5043839 5046468 5046435 5026413 4977817 4975238 4959053 4909260 4895499 4880200 4866504
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