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ブルックス オートメーション インコーポレイテッド

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  2014年 出願公開件数ランキング    第1332位 19件 上昇2013年:第1585位 17件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第1263位 21件 上昇2013年:第1509位 16件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5579773 加工ツール及び加工物を位置合わせする方法 2014年 8月27日
特許 5567704 基板取扱いロボットの基板取り出し方法 2014年 8月 6日
特許 5550201 時間最適アーム動作を生成する方法 2014年 7月16日
特許 5543205 半導体ワークピース処理システム 2014年 7月 9日
特許 5543934 基板処理装置 2014年 7月 9日
特許 5543285 基板取扱いロボット 2014年 7月 9日
特許 5543336 高速スワップロボット付コンパクト基板搬送システム 2014年 7月 9日
特許 5543318 基板搬送方法 2014年 7月 9日
特許 5537017 ロボット応用・形成データを記憶する交換自在なメモリ装置 2014年 7月 2日
特許 5517928 複雑性低減型セルフ・ベアリング・ブラシレスDCモーター 2014年 6月11日
特許 5517929 電磁推進及び誘導システムの駆動 2014年 6月11日
特許 5506979 ロットサイズ減少のためのバッファ付きローダ 2014年 5月28日
特許 5492184 極低温冷凍機 2014年 5月14日
特許 5492553 基板処理装置 2014年 5月14日
特許 5483556 基板処理装置、基板移動方法、基板搬送装置、及び基板処理モジュールの清掃方法 2014年 5月 7日

21 件中 1-15 件を表示

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5579773 5567704 5550201 5543205 5543934 5543285 5543336 5543318 5537017 5517928 5517929 5506979 5492184 5492553 5483556

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