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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第1585位 17件
(
2012年:第2313位 9件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第1509位 16件
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2012年:第1691位 14件)
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| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5379684 | 過酷な環境において熱陰極の放出性能を維持する方法および装置 | 2013年12月25日 | |
| 特許 5373760 | 真空下の半導体処理システムにおいて加工中の製品を処理する方法及びシステム | 2013年12月18日 | |
| 特許 5363637 | 基板搬送装置 | 2013年12月11日 | |
| 特許 5336184 | 自動位置合わせ基板搬送装置 | 2013年11月 6日 | |
| 特許 5324457 | 静電型イオントラップ | 2013年10月23日 | |
| 特許 5318890 | クライオポンプのネットワーク | 2013年10月16日 | |
| 特許 5318765 | キャリアガスシステムおよび基板キャリアのロードポートとの連結 | 2013年10月16日 | |
| 特許 5318856 | 基板搬送装置 | 2013年10月16日 | |
| 特許 5264171 | 基板搬送装置 | 2013年 8月14日 | |
| 特許 5254993 | 圧力バーストが生じない大容量クライオポンプ | 2013年 8月 7日 | |
| 特許 5243033 | 冷凍プロセスのための高効率の熱交換器 | 2013年 7月24日 | |
| 特許 5226215 | 真空下の半導体処理システムにおいて加工中の製品を処理する方法及びシステム | 2013年 7月 3日 | |
| 特許 5209473 | 基板搬送装置 | 2013年 6月12日 | |
| 特許 5186368 | 不等長リンクスカラアーム | 2013年 4月17日 | |
| 特許 5134182 | 独立多エンドエフェクタを備えた基板移送装置 | 2013年 1月30日 |
16 件中 1-15 件を表示
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5379684 5373760 5363637 5336184 5324457 5318890 5318765 5318856 5264171 5254993 5243033 5226215 5209473 5186368 5134182
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